江苏工业气体管道设计解决方案 上海市弘技流体控制系统供应

我们拥有专业的设计、研发、工程及技术施工人员。自主设计研发生产，拥有多项国家专利及特气系统施工资质，严格执行国际特气安装标准。一是主管路系统的设计。在确定好气体房和用气点后，主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送(1/4-3/4)，而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。江苏工业气体管道设计解决方案

实验室气体管道系统采用汇流排集中供气设备，进行双瓶(多瓶)带手动、半自动、全自动切换功能，带有低压报警装置，实时监控气体压力，浓度监测报警和排风，保证客户正常用气需求和生命财产安全。而且通过供气控制系统，可充分使用气瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本。此外，我们应用技术根据实验室环境，配合施工方协作设计方案。管路管线交错供气错综复杂，为避免错漏，公司设计人员将每一路气体的交叉点、控制阀都在图纸上注明，通过实地勘察，进行全方面、系统地调查分析，为气路设计提供细致、可靠数据。同时在气站建设方面，使用气瓶间管理方式，提高气站使用的安全性，气源控制采用不锈钢控制面板，输送过程管路连接采用不锈钢系列阀门、接头等产品。上海定制气体管道设计流程氢气管道不得用螺纹连接。

对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。

流量测量有策略性地将流量计安装在公司内部管网中经济的和转换性的节点上。压缩空气是一种生产工具，它是公司内各个部门产品成本的一部分。从这个角度看，所有部门都要试图去减少消耗以让所有部门都能受益。现在在市场上可以买到的流量计，所有数值都可以人工读取，测量数据也可以读取到电脑或转换模块中。半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：1.可燃、助燃、易燃易爆气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等；2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等；3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等；4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等；5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等。在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体。

气体管道敷设要求?：1、输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。2、氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它气体管道之上。3、氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。4、室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地，不得穿过不使用氢气的房间。5、气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。?螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调合填料。上海不锈钢气体管道设计市价

氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m。江苏工业气体管道设计解决方案

气瓶间布局，1.由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。2.气瓶间内设立一次调压面板，其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。3.压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。4.所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。5.压力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上，面板应设计的紧凑而合理，以尽量减少系统中的死体积。6.压力调节面板应采用全不锈钢材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全性。7.排空气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。江苏工业气体管道设计解决方案