上海工业特气管道安装厂家 上海市弘技流体控制系统供应

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。应按设计要求或国家标准图集中对管道固定支架的型式进行选择。上海工业特气管道安装厂家

特种气体管道安装施工方案需要考虑以下几个方面：1. 材料选择：特种气体管道需要选用适合的材料，如不锈钢、玻璃钢等，以确保管道的密封性和耐腐蚀性。2. 设计方案：根据现场情况和气体特性，设计合理的管道布局和安装方案，确保管道的安全和稳定运行。3. 施工准备：准备好必要的工具和设备，如切割机、焊接机等，确保施工现场的安全和清洁。4. 管道安装：按照设计方案进行管道的切割、焊接、连接等操作，确保管道的密封性和牢固性。5. 压力测试：在管道安装完成后，进行压力测试，以确保管道的密封性和耐压性。6. 吹扫和清洗：对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。7. 安全措施：在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。8. 质量控制：对施工过程进行质量控制，确保管道的安装质量符合相关标准和要求。上海工业特气管道安装厂家特种气体管道需要选用适合的材料，如不锈钢、玻璃钢等，以确保管道的密封性和耐腐蚀性。

特种气体管道安装：1 管外径大于1/2"的管道切割应采用不锈钢管洁净专门使用切割机，切割时不得使用润滑油：切口端面应垂直、无毛刺、不变形；满足不加丝自动轨道氩弧焊要求；不得使用手工锯、砂轮切割机切割；2管道切管作业时，应分别从两端管口将高纯氮气或氩气通入管内，并不得损伤管道外壁；3管口倒角作业时，不得损伤管道内壁，并不得采用什锦锉对管口进行倒角；4管道吹扫完毕，应使用不产尘的洁净布沾上异丙醇或无水乙醇将切割管口清洗干净，应迅速用洁净防尘帽或洁净胶带将管口封堵；5切割结束后，剩余管材应以洁净防尘帽封或洁净胶带堵后装入包装袋中；6管道预制焊接总长度不应超过12m，预制时应放置在专门使用支座上，支点数量不得少于4个；管道运输时每3m长度应设一个支点。

特气管道安装流程:1、管道连接时，不得强力对口。2、管口对接应检查平直度，距接口200mm处测量，允许偏差1mm/m，全长偏差小于10mm，法兰间连接要平行。3、采用螺纹接头应用四氟乙烯带填料，禁止用麻油。4、管道与支架中间应采用无氯离子塑片相隔离;穿墙管道应加套管，套管长度不应小于墙厚，中间空隙应用不燃材料填塞。5、氮气管道应有防雷及导除静电的接地装置。6、埋地管道深度不小于0.7m(管顶距地面)，直接埋地应作防腐处理。人体工程学:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处，这样的话可以更合理的设计工作场所。弯管时不可取开管道两端的封头，弯头成型后角度偏差不大于5°。

气体房的选择和设计，除了简单的供气系统以外，特气房一般都单独于主场房而单独建设，其规划时需考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆间距、危险物的总量控制等。常规供气系统一般也采用多种气瓶柜共设在一个气体室；而对于大宗特气，会根据气体特性和相容性将气体房分成可燃气体房、腐蚀性气体房、惰性气体房、硅烷气体房、毒性气体房等。气体房必须有良好的通风，气体房的选择和设计一般由设计院完成。GMS和GDS系统，气体监控系统（GMS)通过计算机网络，实现对气体输送系统的实时监控，以确保系统的稳定性。气体侦测系统（GDS）是全厂生命安全系统（LSS）的重要组成部分。对于侦测器的要求，除了精度高，反应迅速外，还应具备自检功能。对于这两个系统在这里只能做一个概念性的介绍。然后、充分了解气体特性、从而合理配置系统，合理选择管径和材料，是我们设计的重点，这样可明显降低整个系统的成本。管口的加工是本施工技术的关键点之一。上海高纯特气管道安装市价

整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。上海工业特气管道安装厂家

特种气体系统工程施工应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB50235、《工业金属管道工程施工质量验收规范》GB 50184、《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》GB 50236和《现场设备、工业管道焊接工程施工质量验收规范》GB50683 的有关规定。特种气体系统使用的不锈钢管道应采用自动轨道氩弧焊机焊接，高纯氩气保护。10.1.3安装和试验检测用计量器具应经检验合格并在有效期内使用。10.1.4特种气体系统工程施工前应编制专项施工方案，并应经业主审批后实施。10.1.5主要设备材料进场应提供下列文件：1 产品合格证、质量保证书、性能测试报告；2 产品安装、使用、维护和试验要求等技术文件；3 产品规格、型号、数量、设备附件及专门使用工具。上海工业特气管道安装厂家