江苏铝合金气体管道设计规范 上海市弘技流体控制系统供应

流量测量有策略性地将流量计安装在公司内部管网中经济的和转换性的节点上。压缩空气是一种生产工具，它是公司内各个部门产品成本的一部分。从这个角度看，所有部门都要试图去减少消耗以让所有部门都能受益。现在在市场上可以买到的流量计，所有数值都可以人工读取，测量数据也可以读取到电脑或转换模块中。半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：1.可燃、助燃、易燃易爆气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等；2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等；3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等；4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等；5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等。在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体。江苏铝合金气体管道设计规范

气体管道设计规范：1.气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99% 的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。2.管道与设备的连接段宜采用金属管道，如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管，不得采用乳胶管。3.阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其他气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材抖。氢气和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专门使用产品，不得代用。4.气体管道中的法兰垫片其材质应依管内输送的介质确定。5.各种气体管道应设置明显标志。上海铝合金气体管道设计安装所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。

实验室气体管道可靠性，管道连接应采用牢固的固定方式，避免因振动或使用不当导致的泄漏。管道应有适当的保护措施，避免机械损伤和化学腐蚀。应有维护保养的方便性，包括检修口、阀门的可访问性和更换部件的便捷性。实验室气体管道标识清晰，实验室气体管道通过颜色编码和标签明确地标识气体管道，有助于减少操作错误和提高安全性。方向箭头和警告标识则对于指示气体流动方向和提醒潜在危险。实验室供气系统是确保实验室安全运行的关键组成部分，而精确实验室气体管道设计和维护是预防事故和延长设备使用寿命的基石。随着技术的不断进步，未来的实验室供气系统将会更加自动化、智能化，同时也将更加重视环境可持续性的要求。高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。

高纯气体的配管及材质，高纯气体管路的设计要点：1.对于不同特性的气体，要规划单独的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。压力调节面板和气路控制终端上粘贴气路编号、气体种类、浓度等标识。

负压吸引系统：1负压吸引系统由中心吸引站、吸引管道、负压吸引终端等组成。吸引系统的负压源是中心吸引站的真空泵机组，通过真空泵机组的抽吸使吸引系统管路达到所需负压值，在手术室、抢救室、医治室和各个病房的终端处产生吸力，提供医疗使用。2中心吸引站，中心吸引站有真空泵、细菌过滤器、控制柜、污物接收器、真空缓冲罐（负压罐）组成。真空泵必须有备用，并能自动切换。一般医用真空泵有往复式真空泵、液环（水环）式真空泵、油润滑滑片式真空泵。往复式真空泵：价廉、耐用，但占地大、噪声大、需用冷却水，排气管必须装消声器；液环式真空泵：体积小、噪声小，但需用补充循环水。应有可靠的泄漏检测系统和应急预案，确保在气体泄漏时能够迅速采取措施。上海特殊气体管道设计服务

穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。江苏铝合金气体管道设计规范

在实验室计过程中，通常会涉及到气体管路。一般实验室用气主要有不可燃气体、惰性气体、易燃气体、剧毒气体、助燃气体组成。所以在设计实验室的过程中，就需要考虑到气路的安装问题，根据场地环境及不同气体的要求，设计选用合适的洁净气体管道及气体阀门，满足实验室对气体安全、纯度及洁净度的需要。随着行业快速发展，由于实验室气体输送等设备系统在关键内容、关键标准等方面缺乏统一技术要求，设备设施种类繁多、专门使用模块与设备管道阀件性能不匹配等问题逐步凸显，方案设计、技术实现、测试评估、实际部署等暂时缺乏统一和准确的指导，给后期使用维护造成较大影响。江苏铝合金气体管道设计规范